Gantry Linear Stage
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제품 특징
▣ 주요 구성품
- X & Y Axis : Linear Motor + LM Guide + Optical Linear Encoder
- Z Axis : Servo AC Motor + Ball Screw + LM Guide
- '00' Grade Granite Base
- Belt Drive Robot & Align UP/DOWN UNIT
▣ 적용 어플리케이션
- 반도체 생산설비, 광학, 계측기 등 정밀 제조업 분야에 적용
- FPD 제조 및 검사장비, Laser Machine 등에 적용
▣ 특장점
- 정밀한 석정반 베이스를 기반한 안정적인 제진 시스템
- 경량화 및 고강성 빔에 의한 고가속 시스템 실현
- 고속 및 고정밀 위치 결정 시스템
- 다양한 고객 요구 사양에 따른 맞춤 설계 가능
제품 상세설명
| ITEM | X-Axis | Y-Axis | Z-Axis |
|---|---|---|---|
| Stroke | 1600mm | 2000mm | 200mm |
| Pay Load | 20kg (@ Z-Axis Slide) | ||
| Max Speed | 500 mm/sec | 500 mm/sec | 100mm/sec |
| Max Acceleration | 0.3G | 0.3G | 0.1G |
| Repeatability | ± 2um | ± 2um | ± 5um |
| Flatness | ± 10um | ± 15um | ± N/A |
| Straightness | ± 10um | ± 15um | ± N/A |
| Othogonality | ± 5 arc-sec (X to Y) | ||
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