XY SPLIT Type LINEAR STAGE
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제품 특징
▣ 주요 구성품
- X & Y Axis : Linear Motor + LM Guide + Optical Linear Encoder
- Z Axis : Servo AC Motor + Ball Screw + LM Guide
- T Axis : Direct Drive Motor
- '00' Grade Granite Base & Bellows type Isolated system
▣ 적용 어플리케이션
- 반도체 생산설비, 광학, 계측기 등 정밀 제조업 분야에 적용
- FPD 제조 및 검사장비, Laser Machine 등에 적용
▣ 특장점
- 정밀한 석정반 베이스 및 Bellows Type Isolator를 기반한 안정적인 제진 시스템
- Auto Level control System을 적용하여 장비의 구동에 의한 Settling time 최소화
- 고속 및 고정밀 위치 결정 시스템
- 다양한 고객 요구 사양에 따른 맞춤 설계 가능
제품 상세설명
| ITEM | X-Axis | Z-Axis | Y-Axis | T-Axis | |
|---|---|---|---|---|---|
| Stroke | 500mm | 50mm | 500mm | 360˚ | |
| Pay Load | 10kg (@ T-Axis Slide) | 30kg (@ T-Axis Slide) | |||
| Max Speed | 400 mm/sec | 100mm/sec | 400 mm/sec | N/A | |
| Max Acceleration | 0.2G | 0.1G | 0.2G | N/A | |
| Repeatability | ± 1 um | ± 10 um | ± 1 um | ± 1.2 arc-sec | |
| Flatness | ± 5um | N/A | ± 5um | ± 5um | |
| Straightness | ± 5um | N/A | ± 5um | N/A | |
| Othogonality | ± 5 arc-sec (X to Y) | ||||
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